Peralatan Metalizing Vakum

Adakah Salutan PVD Selamat?

Proses Pemendapan Wap Fizikal ialah teknik mesra alam atau "penyaduran" yang sangat mengurangkan jumlah bahan toksik yang mesti digunakan, diurus dan dilupuskan berbanding proses "basah" lain yang melibatkan prekursor bendalir dan tindak balas kimia yang digunakan untuk mencapai hasil yang sama. . Kerana ia mampu menghasilkan salutan yang sangat tulen, bersih dan tahan lama, Pemendapan Wap Fizikal adalah teknologi pilihan untuk industri implan pembedahan dan perubatan.

Adakah anda tahu apa itu mesin salutan? Ia terutamanya merujuk kepada jenis salutan yang perlu dijalankan di bawah tahap vakum yang tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penyejatan ion vakum, magnetron sputtering, epitaksi rasuk molekul MBE, pemendapan sputtering laser PLD dan lain-lain lagi.

Sistem vakum termasuk pam mekanikal, pam kriogenik, injap kasar, injap garis depan, injap pintu dan tolok vakum untuk pengesanan vakum. Semasa magnetron sputtering, pengaruh nitrogen, oksigen dan wap air pada proses harus diminimumkan, jadi darjah vakum diperlukan di bawah 0.13 mPa ~ 4 Pa. Pam sekarang kering dan pam kriogenik biasanya digunakan. Pam kering digunakan untuk mengepam vakum rendah. Berbanding dengan pam minyak mekanikal asal, ia boleh menghalang minyak dan gas dalam pam minyak daripada memasuki ruang vakum, mencemarkan substrat, dan mengurangkan lekatan antara filem dan substrat. Biasanya, selepas pam kering dipam di bawah 6.5 Pa, injap pintu dibuka, dan pam kriogenik digunakan untuk mengepam vakum tinggi. Pam kriogenik dicirikan oleh kelajuan pengepaman yang tinggi, terutamanya keupayaan untuk mengeluarkan wap air adalah sangat kuat.

Sistem salutan sputtering terdiri daripada bekalan kuasa DC, bahan sasaran, air penyejuk, magnet kekal, peranti pemanasan substrat, penyekat, lapisan pelindung, dll. Ini adalah bahagian teras stesen sputtering magnetron. Bekalan kuasa DC menyediakan voltan tinggi negatif 300-1 000 V dan menggunakannya pada sasaran, supaya sasaran pada katod dan substrat berada di anod. Air penyejuk digunakan untuk menyejukkan bahan sasaran bagi mengelakkan suhu sasaran meningkat terlalu cepat akibat terpercik. Saluran paip air penyejuk hendaklah dibuat daripada bahan penebat seperti paip plastik, bukan paip logam. Peranti pemanasan substrat boleh mengeluarkan kekotoran seperti wap air pada substrat, yang boleh meningkatkan lekatan antara filem dan substrat. Di samping itu, untuk sesetengah logam, suhu yang sesuai boleh meningkatkan kualiti filem.

Permohonan

Parameter

Syarikat kita

Cool tags: peralatan metalizing vakum, China, pembekal, pengilang, kilang, disesuaikan, beli, harga, sebut harga