Kaedah Pengukuran dan Pemantauan Ketebalan Filem Mesin Salutan Vakum Moden

Kaedah kawalan salutan yang paling langsung ialah Kaedah Imbangan Mikro Kristal Kuarza (QCM), yang boleh terus memacu sumber penyejatan, dan mengitar penyekat melalui kawalan PID untuk mengekalkan kadar penyejatan. Selagi instrumen disambungkan kepada perisian kawalan sistem, ia boleh mengawal keseluruhan proses salutan. Tetapi ketepatan (QCM) adalah terhad, sebahagiannya kerana ia memantau kualiti salutan yang dimendapkan dan bukannya ketebalan optiknya.

Selain itu, walaupun QCM adalah sangat stabil pada suhu yang lebih rendah, ia menjadi sangat sensitif suhu pada suhu yang lebih tinggi. Semasa pemanasan berpanjangan, sukar untuk menghalang penderia daripada jatuh ke kawasan sensitif ini, menyebabkan ralat ketara dalam filem.

Pemantauan optik ialah kaedah pemantauan pilihan untuk salutan ketepatan tinggi kerana ia membolehkan kawalan ketebalan lapisan yang lebih tepat (jika digunakan dengan betul). Peningkatan dalam ketepatan berpunca daripada banyak faktor, tetapi sebab yang paling asas ialah pemantauan ketebalan optik.

Sistem pemantauan optik panjang gelombang tunggal OPTIMAL SWA-I-05 menggunakan pengukuran dan kawalan tidak langsung, digabungkan dengan perisian pemantauan optik lanjutan yang dibangunkan oleh Dr. Wang, untuk meningkatkan secara berkesan teori dan kaedah kepekaan tindak balas optik kepada perubahan ketebalan filem kepada mengurangkan ralat muktamad, memberikan maklum balas atau pilihan penghantaran mod dan pelbagai panjang gelombang pemantauan. Ia amat sesuai untuk pemantauan salutan pelbagai ketebalan filem termasuk pemantauan filem yang tidak teratur.